BEST SUSTEMS公司集成CHEMKIN软件结合详细的化学反应探讨蚀刻的最佳条件。问题设定：探索当设计变量：原料供给量SCCM ，氧浓度发生变化后，如何使得目标：出口C2F6浓度， CF4浓度最低而蚀刻速率最大（最小油膜形成率），计算结果，从modeFRONTIER的多维折线图中可清楚地看出C2F6的浓度和对应的蚀刻速率的大小，从中我们可方便的选择出最佳优解。